TDS红外加热型升温脱附质谱仪：TDS是一种质谱仪，通过监测在超高真空中加热/升温后从材料表面产生的气体，可以评估表面杂质和调查材料本身的成分，目前在半导体、液晶、有机EL、电气、钢铁、汽车、陶瓷等各种领域，用于材料的研究和制造过程中的评估，以及质量控制，特别是对低质量分子，如氢，水，氧等进行高灵敏度的分析